集成电路应用杂志社

摘要：阐述为降低液晶彩膜面板低温气泡与高温显示不均风险，提出增加测量辅助区柱状隔垫物高度（PSH）的方法，并与有效显示区PSH数据进行联合管控。辅助区PSH不受色阻膜厚及层间偏移影响，能更真实反映PS涂层工艺高度。实测表明，该方法可使低温气泡与显示不均风险从2/3降至1/3(RGBW产品从3/4降至1/4)，且辅助区PSH的过程能力指数（Cpk）更优，有助于实现PS制程的精益管控。

关键词： 液晶面板;柱状隔垫物高度;过程能力指数;彩膜基板;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.11.013

专辑： 信息科技

专题： 电信技术

分类号： TN873.93