集成电路应用杂志社

摘要：阐述集成电路横向扩散MOSFET(LDMOS)器件课程借助集成电路工艺虚拟仿真实验搭建一个虚拟现实场景，模拟出一个完整的集成电路制造流程，其中涵盖了清洁、氧化、光刻、刻蚀、淬火、离子注射和扩散等步骤，从而更好地探索出集成电路芯片的各种组成部分及其相应的工艺参数的变动情况。

关键词： 集成电路制造;LDMOS器件工艺;集成电路;虚拟仿真;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.10.028

专辑： 信息科技;社会科学Ⅱ辑

专题： 职业教育;无线电电子学

分类号： TN386-4;G712